在半導體生產線上,高純度水(純水)是至關重要的,因為它用于多個關鍵工藝步驟,包括清洗、制備、沖洗和蝕刻等。恒大興業環保帶你了解半導體生產線上對純水的主要要求:
1、超高純度:半導體生產要求超高純度水,通常達到或者接近18兆歐*厘米(MΩ·cm)的電導率。這要求去除水中的離子、溶解物質和其他雜質,以確保不會在半導體制造過程中引入污染。
2、低有機碳含量:水中的總有機碳(TOC)含量必須非常低,以防止有機物質殘留在半導體表面,影響設備性能。
3、低微生物和顆粒物質:水中不得存在微生物,因為它們可能導致生物污染。此外,顆粒物質也必須保持在極低水平,以防止顆粒物質在半導體器件上引入缺陷。
4、一致性和穩定性:純水的水質必須保持一致,并且在整個生產過程中穩定,以確保半導體器件的質量和性能。
5、嚴格的監測和控制:半導體生產線上的純水系統需要配備嚴格的在線監測和控制系統,以實時監測水質參數,如電導率、TOC、顆粒物質和溫度,并根據需要自動調整操作參數。
6、自動化和可追溯性:純水系統通常需要高度自動化,以減少人為干擾,并確保水質的可追溯性。這對于排查問題和證明產品質量至關重要。
7、維護和清洗:純水系統需要定期維護和清洗,以確保設備性能。這包括定期更換濾芯、清洗反滲透膜和保持系統干凈。
8、雙系統備份:為確保連續供水,半導體生產線通常采用雙系統備份,以在一個系統發生故障時切換到另一個系統。
9、安全:純水系統必須符合安全標準,以防止泄漏或其他潛在危險。
10、合規性:半導體行業通常受到法規和質量標準的嚴格監管,因此純水系統必須符合相關的行業法規和標準。
純水在半導體生產中扮演著至關重要的角色,因此高度純凈和可靠的水源是確保半導體產品質量和性能的關鍵要素。半導體公司通常會投資大量資源來確保其純水系統的穩定性和性能。
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